Шевяков В. И.

Василий Иванович Шевяков

Доктор технических наук, профессор кафедры «Интегральная электроника и микросистемы» МИЭТ. Научные интересы: технология микро- и наноэлектроники, сканирующая зондовая микроскопия. Автор более 150 научных публикаций.

• Металлизация ультрабольших интегральных схем : учебное пособие
• Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем, ч. 2