Металлизация ультрабольших интегральных схем : учебное пособие
Библиографическое описание книги
Автор, составитель, редактор: Громов Д. Г. / Мочалов А. И. / Сулимин А. Д. / Шевяков В. И.
Тематика: инженерные дисциплины
Книжная серия: МИЭТ
Тип издания: печатное издание
Первый год издания: 2009
Формат: 60x90/16 (в пер.)
Страниц: 277
ISBN: 978-5-94774-904-5
УДК: 621.382 (075.8)
ББК: 32.844.1
Гриф: УМО
Вид издания: учебное издание
Тематика: инженерные дисциплины
Книжная серия: МИЭТ
Тип издания: печатное издание
Первый год издания: 2009
Формат: 60x90/16 (в пер.)
Страниц: 277
ISBN: 978-5-94774-904-5
УДК: 621.382 (075.8)
ББК: 32.844.1
Гриф: УМО
Вид издания: учебное издание
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
1 - Навигация в электронном издании работает частично в зависимости от размера фрагмента.
Назад в раздел
2024 © Издательство «Лаборатория знаний» 