Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие
Тематика: нанотехнологии
Книжная серия: Нанотехнологии
Тип издания: печатное издание
Первый год издания: 2010
Формат: 60x90/16 (в пер.)
Страниц: 283
ISBN: 978-5-9963-0032-7
УДК: 621.38+533.9
ББК: 34.55+31.96+32.844.1+30.61+22.333я73
Гриф: УМО
Вид издания: учебное издание
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
1 - Навигация в электронном издании работает частично в зависимости от размера фрагмента.
Назад в раздел
