Галперин В. А.

Вячеслав Александрович Галперин

Кандидат технических наук, начальник лаборатории НПК «Технологический центр» Московского института электронной техники (МИЭТ). В составе группы отечественных ученых принимал активное участие в разработке технологий формирования наноструктурированных областей в кремнии и других функциональных слоях микро- и наноэлектроники с минимальной шириной элементов 15 нм. Научные интересы: ионно-плазменные технологии, солнечная энергетика, технологии микро- и наноэлектроники. Автор более 50 научных публикаций, 18 изобретений и патентов.

• Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие