Королев М. А.

Михаил Александрович Королёв

Доктор технических наук, профессор кафедры интегральной электроники и микросистем, декан факультета Электроники и компьютерных технологий Московского государственного института электронной техники, Заслуженный деятель науки РФ. Область научных интересов: исследование структур и технологий изготовления интегральных полупроводниковых схем и микросистем, методология преподавания в высшей школе, физико-технологические основы создания субмикронных интегральных схем, трехмерные интегральные схемы.

• Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : в 2 ч. Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование (ЭИ)
• Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем, ч . 1
• Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем, ч. 2