Физические основы кремниевой наноэлектроники : учебное пособие для вузов (ЭИ)
Печатное/электронное издание книги
Библиографическое описание книги
Автор, составитель, редактор: Зебрев Г. И.
Тематика: нанотехнологии
Книжная серия: Нанотехнологии
Тип издания: электронное издание
Первый год издания: 2020
Издание: 4-е изд. (эл.)
Формат: 125х200 мм
Страниц: 243
ISBN: 978-5-00101-830-8
УДК: 121.382(075)+620.3(075)
ББК: 32.85ÿ73
Вид издания: учебное издание
Тематика: нанотехнологии
Книжная серия: Нанотехнологии
Тип издания: электронное издание
Первый год издания: 2020
Издание: 4-е изд. (эл.)
Формат: 125х200 мм
Страниц: 243
ISBN: 978-5-00101-830-8
УДК: 121.382(075)+620.3(075)
ББК: 32.85ÿ73
Вид издания: учебное издание
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.
Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».
1 - Навигация в электронном издании работает частично в зависимости от размера фрагмента.
Назад в раздел
2024 © Издательство «Лаборатория знаний» 