В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем.
В книге обобщен опыт создания и применения отечественных бит-потоковых технологий, для распространения которых в области супрамолекулярных и нано-метровых вычислителей достаточно заменить инициализацию инструкций инструктированным синтезом реализующих их устройств.
В книге обобщен опыт создания и применения отечественных бит-потоковых технологий, для распространения которых в области супрамолекулярных и нано-метровых вычислителей достаточно заменить инициализацию инструкций инструктированным синтезом реализующих их устройств.
Изложены физико-химические основы технологии микроэлектроники. Дана классификация технологических процессов. Сформулированы критерии, определяющие характер их протекания и качество изделий. Особое внимание уделено процессам эпитаксии, получения тонких пленок, сварки и пайки, механической обработки, очистки поверхности материалов, а также легирования, модифицирования и фотолитографии.
В книге собраны и обобщены некоторые экспериментальные результаты изучения состояния и свойств твердого вещества в процессе его выделения из пересыщенной среды, а также при последующем хранении и использовании.
Книги
31 - 35 из 35 Начало
|
Пред.
|
1234
|
След. | Конец
